分子束外延系统MBE OCTOPLUS 800 分子束外延系统兼容7x2英寸，3x3英寸或单片最大6英寸衬底，适用于III/V族， II/VI族，SiGe或其他异质结构材料生长应用研发与生产。 标准MBE系统-OCTOPLUS 800 腔体尺寸： 800 mm ID，液氮冷屏 本底真空： < 5 × 10-11 mbar 真空系统： 冷泵+离子泵+钛升华泵 样品尺寸： 8"，6"，4"，3x3"，7x2" 加 热 器： 可选Ta/PG/W材质，温度可达800℃，1000℃或1400℃ 源炉法兰： 12 × DN 100 CF 应用领域： SiGe，III-V, II-VI等 分子束外延系统

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