(1)真空泵温太高，1.被抽气体温度过高。应让气体冷却后再进入真空泵内，2.吸入硬物使真空泵体磨损。应拆开真空泵除去硬物，对划伤部件进行修复或更换，3.真空泵冷却水流最不够。应加大冷却水流量，4.装配不当，使转子轴心位移，造成单面磨损。应拆开检查并重新装配。

(2)真空泵油有问题，1.油位过低。应加足油量到油标中心线，2.油被沾污，油质变坏。应更换新油，3.油的牌号不符。应换规定牌号的真空泵油，4.油路不通，真空泵腔内没有保持适当的油量。应检查油路及油阀的进油量，保持油路畅通。

(3)真空泵本身漏气：1.密封圈漏气。应检查所有密封部位的密封情况，更换破损的密封圈，2.气镇阀垫圈损坏：或未拧紧。应更换垫圈并拧紧气镇阀;3.排气阀片损坏，密封不好。应更换气阀片;4.真空泵中隔板压入时过盈量太大，造成真空泵腔变形而漏气。应修整真空泵腔或更换，5.由于真空泵的端面油密封不良造成漏气。应拆开端盖，检查是否有杂物或不平整，并进行清洗或修理。

(4)转子弹簧变形或折断及旋片动作不灵。应整修或更换弹簧变形，使转子积旋片配合良好，

(5)进气口的过滤网被堵塞。应取下过滤网清洗干净，再装上去，

(6)因加工不良或磨损造成配合间隙过大。应检查真空泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，投规定的精度要求进行修复或更换。

(7)真空泵腔、轴和轴套配合过紧，紧成润滑不良。应重新装配并疏通和调节油路，加强润滑，

(8)电机有故障而产生噪声。应检修电机或给轴承加上润滑黄油。

真空泵漏油、喷油
(1)转轴、油窗、放油孔、油箱等部位的密封圈损坏或装配不正确。应仔细检查并更换玻损的密封圈，装配螺时，用力要均匀，

(2)因前后端面不平整或端板未压紧，造成端面漏油。应将端面修平并压紧前后端板;

真空泵起动困难
(1)真空泵已返油，用手扳动皮带轮旋转数周，即可起动，
(2)由于长期不运转或停机后未放入大气，使真空泵腔内充满真空泵油。用手扳动皮带轮旋转数周，即可起动，
(3)油温太低，应给油加温或让室内温度保持在15度以上，也可以用手扳动皮带轮旋转数周，再继续通电运转数分钟，即可正常工作
(4)油已变质，应更换新的真空泵油，
(5)电源缺相，应检修电源。