石英坩祸是用高纯石英砂经过高温熔化形成的一种玻璃态器皿,在生产单晶硅的过程中是不可替代的容器。
由于石墨模具有着热变系数小、保温效果好、抗氧化能力强的优点,所以石墨模具可用于生产坩祸过程中石英砂载体和保温体,最初石墨模具厚度在20_左右,随着坩祸直径增大,熔制时间也越来越长,造成模具氧化较快,一般能用120-150炉次,生产成本较高,同时人工更换模具劳动强度较大,也减少了每个班产量,基于此将模具厚度增至50mm-80mm,模具熔制炉次虽然得以改善,但熔制过程中模具透气性不好,且用于过滤的硅酸铝棉使用一定炉次后本身透气性也有所下降,这都严重影响了石英坩祸的真空层质量。
由于石墨模具有着热变系数小、保温效果好、抗氧化能力强的优点,所以石墨模具可用于生产坩祸过程中石英砂载体和保温体,最初石墨模具厚度在20_左右,随着坩祸直径增大,熔制时间也越来越长,造成模具氧化较快,一般能用120-150炉次,生产成本较高,同时人工更换模具劳动强度较大,也减少了每个班产量,基于此将模具厚度增至50mm-80mm,模具熔制炉次虽然得以改善,但熔制过程中模具透气性不好,且用于过滤的硅酸铝棉使用一定炉次后本身透气性也有所下降,这都严重影响了石英坩祸的真空层质量。