二、內部紧缩型螺杆式
丝杆间容量的持续减少，促使螺杆真空泵內部造成缩紧。在许多工序中，这类內部缩紧同多级离心泵一样，简易导致汽体在螺杆真空泵内的物理学转变而造成干固或汽化
三、双圆裂片式
双圆裂片式的多级归划，促使汽体环路相等于混乱，并且每一 级都要求很大留量的氢气具有兑水和隔绝作用。以便抵达好的真空度，对各个的间隙有非常严格的规定。这类归划由于提升了內部的缩紧比而促使螺杆真空泵用电量较低