超纯水设备系统主要是对原水进行预处理及精处理，以达到去除水中的有机物、无机物、胶体、溶解性离子、颗粒物，满足终端用户超纯水水质要求。
　　超纯水设备是反渗透系统跟离子交换混床或edi相结合配套使用，是目前制取高纯水工艺流程中非常重要的手段。而反渗透系统是其中的重要组成部分，并且也是超纯水设备运行中比较容易出问题的一个环节部分。
　　超纯水设备制水技术优势
　　电子半导体工业在生产过程中对于超纯水的需求量也非常大，采用反渗透+edi技术制取半导体工业用水主要有如下优势：
　　1. 无需酸碱再生： 在混床中树脂需要用化学药品酸碱再生， 且需要安全储存酸碱的车间, 再生时有大量有害废水和废弃物需处理，增加了环保和安全方面的工作困难。 而edi则消除了这些有害物质的处理和繁重的工作。保护了环境。
　　2. 连续、简单的操作： 在混床中由于每次再生和水质量的变化，使操作过程变得复杂，而edi的产水过程是稳定的连续的，产水水质是恒定的，没有复杂的操作程序，操作大大简便化。
　　3. 降低了安装的要求：edi系统与相当处理水量的混床相比，有较小的体积，它采用积木式结构，可依据场地的高度灵活地构造。模块化的设计，使edi在生产工作时能方便维护。