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半导体超纯水设备工程 电子行业用超纯水设备
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超纯水作为半导体工业的重要配套,也受到了广泛的关注。今后几年,半导体生产企业的数量和生产能力的增加,将带动半导体工业超纯水制造的需求,其中包括半导体制造产能的增加,对纯水“量”的需求增加,以及更精密、高端的半导体制造对纯水纯度和稳定性要求更高的“质量”要求。
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目前制备超纯水的方法多采用离子交换树脂来制取,而使用离子交换树脂往往需要定期进行树脂再生,既费力又浪费人力。反渗透膜分离技术与 EDI技术相结合,常采用高效反渗透技术和 EDI设备制备超纯水,与传统工艺相比,具有运行费用低、运行可靠等优点。超纯水设备出水符合相关标准,为半导体工业提供高品质的超纯水。
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