电子晶圆超纯水设备将反渗透水与电去离子(EDI)工艺相结合，制备超纯水。这是一种制备超纯水的新工艺。也是一种环保、经济、发展潜力巨大的超纯水制备工艺。与传统方法相比，电子晶圆超纯水设备不需要使用任何可回收的化学品进行再生。EDI水处理过程中不需要添加化学品，减少了化学品输送问题，降低了系统运行成本。无需中和剂，EDI膜块内无酸碱废液，无需酸碱中和。一般来说，EDI水处理系统产生的浓缩水可以回收利用。