一、系列臭氧发生器工艺流程：
液氧站、氧气瓶经减压阀、减压稳压后进入臭氧发生器，再经气动开关阀后进入臭氧放电室。在臭氧放电室内的中频高压电场内，部分氧气变成臭氧，产品气体为臭氧化气体，经温度、压力、流量监测后，再经气动调节球阀由臭氧出气口排出。每台臭氧放电室出气管路上设有臭氧取气口，并装有取样阀，每个设备的取气管分别通过各自的发生臭氧浓度仪检测臭氧出气浓度。