纯水是半导体生产的必要元素，传统的纯水制备方法主要包括蒸馏法和离子交换法。蒸馏设备要求严格，产量低，能耗高。离子交换树脂再生失效需要大量的酸碱溶液和大量的清洗水，劳动强度高。早期医药、化工、发电等行业对纯水水质的要求不是很高，但随着半导体行业的快速发展，对纯水水质的要求越来越高。
　　传统方法不适合单独生产高纯度超纯水。20世纪60年代以来，随着膜技术的发展，出现了微滤、超滤、反渗透、电渗透等新型水处理技术。目前，RO+混合床系统已取代传统的离子交换系统，但反渗透对原水中溶解气体和一些弱电解质的去除效果较差。混合床再生会消耗酸碱溶液，产生一定量的废水。
　　超纯水设备采用水处理技术，保证设备的出水稳定。设备内部安装有反渗透预脱盐技术，从根本上确保了设备的出水质量。同时，EDI处理装置废水产量少，不会污染环境。超纯水设备系统特点，主要采用了新的EDI技术，减少了污染，符合绿色环保的工艺生产的特点，生产技术克服了很多的缺点，已经得到了大力的推广和应用。