影响 Al 防护涂层的结构和性能的主要工艺参数为：前处理工艺、沉积温度、本底真空度、靶基距、气压、靶功率、膜厚、偏压等。本研究的前处理工艺为使用 80#的玻璃珠和棕刚玉以质量比 3:1 比例配比，0.3MPa 的压缩空气压力喷砂，然后将样品置于酒精溶液中进行超声清洗，时间为 20min。样品超声清洗之后拿出，吹干，放入鼠笼夹具中。经过前期的准备工作，本研究的靶基距确定为 15cm，靶功率（蒸发舟功率）为20kW，膜层厚度约为 10 微米。在本章实验中，暂时不使用高负偏压进行 Ar+轰击，以工作气压为变量，选取1×10-1，5×10-2，1×10-2，5×10-3 四个数值进行实验，以考察工作气压对电阻式纯蒸发 Al 防护涂层在钕铁硼基体上的耐蚀性能的影响，并对下一步的实验开展提供依据。 了解更多钕铁硼知识请微小编：daydayup-80
开展实验时，把样品装入鼠笼悬挂于真空室中，待真空室真空度小于 3×10-3Pa 后加热至 100℃，保温两小时，可有效去除烧结钕铁硼基体表面及内部的气体和各种杂质液体，保证镀膜后不会由于气体的膨胀而使得膜层出现鼓泡现象。加热结束后，通入 Ar气至真空度为 2Pa，基体加-800V 的负偏压，对样品进行离子清洗，以去除表面杂质和氧化物，提高膜/基结合力。离子清洗完之后真空室温度会有一定的升高，待之冷却后以一定的工作气压直接进行蒸发镀。蒸发 40min，使真空室温度保持在 280℃以下，避免蒸发时产生过高的真空室温度使铝涂层粘接在夹具上和影响磁体的磁性能。蒸发结束后，继续抽真空至真空室温度降至 100℃以下，关闭设备，避免空气进入真空室而造成氧化。 了解更多钕铁硼知识请微小编：daydayup-80