真空技术中的清洁处理一般指的是真空装置的结构材料、填装材料和真空零部件的清洁处理。
在各类真空工艺生产中，都十分重视真空清洁问题，例如电真空工艺、真空镀膜工艺、真空焊接工艺等。由于各种污染可以使电真空器件变质，影响使用寿命和可靠性，去除或减少污染物很有必要，必要的清洁处理将有利于获得良好真空，增加连接强度和气密性，提高产品的寿命和可靠性。要求装配到高真空环境的零件，都要小心进行清洗处理，否则污染物会大大延长真空器件的排气时间，不易获得高真空。
一般常见的清洁处理方法为溶剂清洗、超声波清洗、蒸汽脱脂清洗、电解侵蚀清洗、加热和辐照清洗、放电清洗、氮气清洗等。