全氟癸基三乙氧基硅烷是一种有机硅化合物，在化学中被广泛应用。其分子式为C13H23F3O3Si，相对分子质量为330.4。一般情况下，全氟癸基三乙氧基硅烷的密度约为1.1克/立方厘米，具有优异的表面张力及最低表面张力，并且具有很好的耐热性、耐化学性等特点。