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外延工艺及化学气相淀积 需要高纯度的氢气

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在晶体的生长与衬底的制备、氧化工艺外延工艺中以及化学气相淀积技术中,均要用到氢气。
导体工业对气体纯度要求极高,微量杂质的“掺人”, 将会改变半导体的表面特性。
IP属地:浙江1楼2023-05-23 10:41回复

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