臭氧发生器由气源、放电室、电控系统、内循环系统等相关部件共同组成一套完整的臭氧发生装置。气源的纯净度决定了产生臭氧的浓度高低，而放电室作为系统的重要组成部件，采用的罐体材料首选国标316L板材，专业焊接（需具备特装装备生产经营许可证），产生的臭氧做到气体不泄露（设备配备臭氧泄露报警仪，发生泄露，报警仪发出警报，设备进入安全保护，避免发生安全生产责任事故）。而电控系统作为臭氧发生系统的心脏系统，变压器、变频器、线路管控等部件是决定设备安全运行和浓度达标的关键。内循环系统完成了气源（空气源、氧气源、液氧）转化为臭氧之后，高效输送的过程。
目前市面上常见的大型臭氧发生器，一般是指超过1000克/小时臭氧量的臭氧发生器，而工业用设备基本在5kg左右，甚至过百公斤设备。而价格市面上也是千差万别，这就需要采购的时候擦亮眼睛，最直接的办法就是最近三年来同等配置的设备签订的供货合同作为参考价，业主的认可也是必不可少的参考依据。