碳化硅衬底抛光包括粗抛和精抛两道工艺流程
在碳化硅衬底粗抛光过程中使用的是紫色高锰酸钾抛光液。高锰酸钾与碳化硅的表面直接接触发生氧化反应，从而可将碳化硅表面氧化。
在碳化硅衬底精抛光过程中，可用硅溶胶抛光液。硅溶胶抛光液又叫氧化硅抛光液，一种通过离子交换法和水解法制备不同粒径的稳定硅溶胶，经钝化添加化学助剂以及特殊工艺配制的二氧化硅抛光浆料。
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