臭氧氧化法脱硝主要是利用臭氧强氧化性，将不溶的低价态氮氧化物氧化为可溶的高价态的氮氧化物，窑炉尾气进入烟道内臭氧将其氧化分解，达到脱硝的效果。
臭氧脱硝的过程也是一种低温脱硝的方式，该反应过程中氧化分解时间尤为重要，金属镁生产过程中粉尘中含有重金属是必然的，臭氧氧化反应过程中粉尘颗粒物大小直接影响分解效果，前段充分做好降尘和降温的工作，降温后的尾气进入烟道后的反应时间应在一秒到三秒之间，才能将尾气在烟道中充分氧化。
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