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镀膜吧 关注：2,282贴子：4,567
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阳极电压过低

豪泽镀膜机到等离子清洁基板步骤，偶尔报 等离子体源，阳极电压过低，有时候可以复位直接生产，有时候一直报，复位不了，有没有大佬告知一下怎么解决


辅助阳极表面打干净 引弧针对好 还有就是注意辅助阳极和source 旁边的挡板


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