国内挺多的啊，现在超表面比较好发文章吧，很多功能传统元件不怎么能实现，是不是得用离子束加工，国外哈佛capasso组最近到是有篇DUV光刻加工大尺寸超表面的，如果加工误差不大还是挺好用的吧。随便找的一个会议，这里面学校基本都做，其他不知名学校应该也挺多的。
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，uma东西
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