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第一代arfi以后的新技术能用在arf上吗
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手无剑心无谱
麒麟970
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arf在65nm时遇到瓶颈,上了arfi,利用水的1.33折射率,波长从193到145,才搞定45nm。关键45nm第一代arfi之后,肯定是有了其他新技术才能干到7nm的第N代(1980都行,不用说2050)。能不能把这些技术运用到arf上,只和最新的arfi保持1.33倍的差距,你能干到7nm我能干到10nm,那样的话也能接受
微微胖老男人
麒麟9010
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不是一个厂家,浸润式是上微,
干式是中电科
贴吧用户_05DZ3ND
麒麟9010
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lz思路和asml的产品线迭代思路是吻合的哈哈
1134424830
麒麟9010
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当其他公司1000块钱可以买一块4nm手机soc,150块钱可以买一块7nm手机soc,30块钱可以买一块14nm soc的时候,你1000块钱制造一块7nm手机芯片或许有人买,1000块钱一块14nm手机芯片谁买啊?
mihu的帐号
麒麟970
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DEVI的技术当然可以用在DEV上,如双工件台,用在湿式的可以,用在干式的更没有问题,,不同厂家同样可以,国内企业都是可以直接采购的,
问题是必要性的问题,,你如果把干式机器换上湿式的双工件台,及最先进的测量工具,做到 了2NM的套刻精度,也只能做到45NM而以,不如直接搞湿式,
中电科现在就在搞35NM的机器,,
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