分子束外延系统MBE
OCTOPLUS 800 分子束外延系统兼容7x2英寸，3x3英寸或单片最大6英寸衬底，适用于III/V族， II/VI族，SiGe或其他异质结构材料生长应用研发与生产。

标准MBE系统-OCTOPLUS 800
腔体尺寸： 800 mm ID，液氮冷屏
本底真空： < 5 × 10-11 mbar
真空系统： 冷泵+离子泵+钛升华泵
样品尺寸： 8"，6"，4"，3x3"，7x2"
加 热 器： 可选Ta/PG/W材质，温度可达800℃，1000℃或1400℃
源炉法兰： 12 × DN 100 CF
应用领域： SiGe，III-V, II-VI等
分子束外延系统（MBE）、 脉冲激光沉积系统（PLD)、 反射式高能电子衍射仪（RHEED)、蒸发源、 离子源、电子枪