Mems加速度计是可以测量加速度的微传感器，由于成本低、体积小的特点受到各行业的关注。根据实现原理不同，Mems加速度计主要分为三类，不同实现原理导致mems加速度计的灵敏也不同。 三种mems加速度计的各项性能对比 电容式mems加速度计的实现原理是通过惯性质量块在加速度作用下引起悬臂梁变形，进而引起电容变化，通过对其变化的检测获得加速度的数据。电容式mems加速度计的优势是灵敏度高、噪声低、漂移小，从图中也不难看出，智腾微电子

通过网络收集的石英挠性加速度计市场分析报告来看，石英挠性加速度计市场在最近几年保持每年8%的增长，目前在民用、军用的多个领域得到广泛应用，石英挠性加速度计是摆式加速度计的一种，以力学三大定律作为基本原理测量加速度。 205℃高温HQA石英加速度计 石英挠性加速度计工作原理 主要由上下力矩器、摆组件以及伺服回路组成。其中线圈通过胶粘方法与石英摆片固连，连同线圈骨架与摆片构成摆组件，实现检测质量的功能，用以敏感外界

关于石英挠性加速度计LH309伺服电路的信息并不是特别多，这里整理了网络最全的LH309伺服电路内容。 我们都知道石英挠性加速度计是由表头和伺服电路组成，下图是青岛智腾微电子的HQA系列石英挠性加速度计的分解图。其中伺服电路就是LH309电路，是为石英挠性加速度计设计的专用伺服电路。 HQA系列石英挠性加速度计外观图 LH309电路由双路稳压源、三角波发生器、差动电容检测器、电流积分器、前置放大器、功率放大器及反馈阻容网络。 LH309电路工

微机械加速度计又称mems加速度计，是微机械传感器中最重要的一种，属于惯性感器。智腾微电子生产的SiA200系列Mems加速度计主要用于航空、航海等中高端惯性领域，具有体积小、高可靠、高稳定等特点。 电容式mems加速度计SiA230外观图 传感器由两个差分电容组成，活动电极与两侧固定电极分别构成平行板电容C1和C2。。当y方向加速度为零时，悬梁的活动电极处在两固定电极极板的中间位置时C1=C2，当y方向有加速度存在时，悬梁产生的变形使极板间的

Mems加速度计SiA200系列是青岛智腾微电子推出的针对中高端惯性领域产品，SiA200系列是一种的电容体的MEMS加速度计，内部集成了信号调理、模拟±2.7V输出、内置自检电路和一个温度传感器方便用户进行补偿。能够为战术级测量需求提供有效可靠的支撑。 电容式mems加速度计SiA230外观图 Mems加速度计SiA200用于惯性测量单元 Mems加速度计SiA200可用于军事装备各种精确制导武器，产品尺寸9*9mm²，只有小拇指指甲盖大小，不仅体积小、重量轻，还具有良好的抗

磁通门传感器是用来测量电磁感应，能在运动目标中敏感地对地磁强度进行感应。通过利用高导磁材料（铁、镍、钴以及合金等）制成磁感应线圈，使用线圈系统中的磁饱喝特性来测量磁场的仪器，具有结构简单、小型化、功耗低、高稳定性、高抗震性等特点。 磁通门传感器结构 磁通门传感器是利用铁磁体磁化时在饱和区的非线性来测量磁场的装置，是一种稍加改造的变压器式器件，利用外磁场对这种特殊变压器的输出信号产生的某些非对称的调制

上一篇介绍了测斜探管整体，本文针对组成测斜探管（定向传感器）的石英挠性加速度计展开介绍。 石英挠性加速度计属于单轴重力加速度计，其特点是结构简单，体积小，精度和灵敏度高、可靠性高等。其内部构造图如下。 石英挠性加速度计构造 石英挠性加速度计的工作原理是惯性质量受到外界加速度时，相对位置发生轻微偏移，引起差动电容极板距离的变化导致差动电容量的变化。伺服放大器检测到这一变化并输出相应的电流，送至位于磁场

石英加速度计是测斜探管的主要组成器件之一，加速度计用于旋转、振动的环境下，当加速度计处于动态环境下，重力加速度计的信号就会受到影响，甚至会超出重力加速计的测量量程，从而导致较大的测量误差，通常，近钻头振动加速度约为10^7g，所以要选择量程较大的加速度计。 HQA-T205石英加速度计外观图 HQA-T 系列高温石英挠性加速度传感器为单轴力矩反馈式加速度计，通过检测质量来检测外界的加速度信号，再经伺服电路解调、放大，最后输出

随钻测斜是石油测井的主要方法之一，通过测斜数据才能准确掌握孔内钻具的姿态和钻孔轨迹的走向，其中随钻测斜探管是用来测量钻孔倾斜度和倾向度的核心仪器。从国内的石油随钻测斜技术发展来看，解决测斜探管的长时间工作稳定性、数据误差范围、抗震性等因素是当前主要问题。 青岛智腾微电子DS750产品外观图 随钻测斜探管通常包含3轴高温加速度计、3轴高温磁通门传感器、电源电路，采集处理电路、温度测量电路、通信接口、井径供电测

通常我们说的倾角传感器也称为倾角仪、倾斜传感器等。可在重力的坐下，测量物体的角度。通过对物体偏离水平位置的角度测量而反映出被测量对象偏离平衡位置的程度，进而给被测对象的制动控制提供控制信息。目前市场多位MEMS加速度传感器的倾角传感器，采用体积小、功耗低、响应速度快和高可靠的传感元件，已经广泛应用于工程机械领域。 采用MEMS加速度计的ZTIS202倾角传感器 液体摆式倾角传感器，其原理是利用电极之间导电液的电阻变化来

对于刚入行的朋友来讲，这些概念理解起来非常难，甚至这些电路技术有很多的共性，这次把这六个电路技术好好梳理一遍。 HIC是混合集成电路的缩写，全称Hybrid integrated circuit，是膜集成技术与半导体技术互相结合的产物。按照成膜工艺和膜厚度差别，可分为厚膜HIC和薄膜HIC两大类。 青岛智腾微电子MCM工艺微电阻率扫描仪极板 MCM是多芯片组件的缩写，全称Multi-Chip Module，是多块裸芯片粘结在同一块高密度布线基板上封装起来的互连组件，是在混合集

厚膜集成电路和薄膜集成电路统称为HIC，也就是混合集成电路，混合集成电路早期因其高密度、高性能、高可靠性和轻重量、小体积等明显优势，首先应用在军事、航空航天、兵器等电子系统。解决宽温度、压力、湿度下无法工作的问题，同时具备承受冲击、振动、加速度等应力能力，可以长期可靠有效工作。随着技术发展与普及，目前各行业都能看到混合集成电路的身影。 厚膜集成电路是指在同一基片上采用阵膜工艺(丝网漏印、烧结和电镀等)制作

前文提到过国内石油测井仪器企业通过MCM工艺提高石油测井仪器的抗冲击、耐高温、长期稳定能力。本文以青岛智腾微电子HTCC工艺产品微电阻率扫描仪极板为例，来了解下具体的生产流程。 HTCC工艺的微电阻率扫描仪极板 HTCC工艺生产流程包含10个环节，分别是配料、流延、打孔、填孔、印刷、叠片与层压、切片、共烧、钎焊、镀覆。因篇幅关系，这里不做详细文字描述。 1、配料 配料是指将有机粘结剂、陶瓷粉料、溶剂与增塑剂按照一定比例混合，

对于一个非电子专业的小编来讲，刚入行是分不清楚HIC（混合集成电路）和MCM（多芯片组件）的区别，好在做这个专题前，已经对这些概念有了入门认知。就目前石油测井仪器市场而言，内部电路工艺80%是集成电路。 混合集成电路（Hybrid integrated circuit），也称为HIC，石油由半导体集成工艺与薄（厚）膜工艺结合而制成的集成电路。按照成膜工艺方式的不同，也基于形成膜厚的差别，可分为厚膜混合集成电路和薄膜混合集成电路两大类。HIC技术发展是

这是青岛智腾微电子创作专题文章的第二十篇，本文主要对MCM工艺中的三个类型进行介绍，分别是MCM-L(叠层多芯片组件)、MCM-C(共烧陶瓷多芯片组件)与MCM-D(淀积多芯片组件)。 1、MCM-L 叠层MCM是基于传统印刷电路板的方法发展而来，将导体铜材料和绝缘介质材料三明治式夹在一起通过腐蚀、打孔、镀涂等工艺提供一种可以实现互连的多层布线结构，作为此类MCM的基板。MCM-L制造工艺较成熟、生产成本较低是其快速发展的主要原因。但因芯片的安装方式和

目前国内石油测井仪器中的电路大多采用厚膜集成电路技术，在耐高温和维修性有极大的提升，这是提高仪器精准性的前提。比如青岛智腾微电子研发的石油测井用高温电源，采用厚膜集成电路中的MCM技术，在250℃高温试验下能正常工作500小时。厚膜集成电路技术在石油测井领域还展示出哪些优势呢？ 青岛智腾微电子厚膜电路生产车间 1、 耐高温 厚薄膜工艺的技术特点可以降低半导体晶圆结温，使其耐温性能大大增强，在高温恶劣环境下应用优势明

国内厚膜集成电路的发展相对比较晚，在石油测井领域应用也比较晚，在石油测井领域，厚膜技术产品解决了高温工作环境下无法长期工作、误差大的问题。 厚膜电路是在阻容元件和半导体技术基础上发展起来的一种混合集成电路。它利用厚膜技术在陶瓷基片上制作膜式元件和连接导线，将某一集成化电路和外围分离元件集成在一块陶瓷基板上，使之成为一个整体封装器件，其外形有封闭和开放两种封装形式。常见产品包括测井仪电路、高温电源、

随钻测井工作中，最担心的问题是探管的实际使用精度，重复性差，这就会造成测量结果每次都不同，严重影响工作进度。我们都知道测斜探管的精度和内部使用的石英加速度计有关系，其中石英加速度计的K1重复性指标是最重要的参考值。 青岛智腾微电子HQA-T185石英加速度计典型K1图 石英加速度计设计技术涉及仪表、控制、机械、电子、材料等多个学科，交叉学科广，研究难度大。受温度、振动等环境载荷的影响以及加速度计内部组件材料的特性，

国内生产石英加速度计的厂家比较多，精度从高到低，应用场景也不同。就拿石油测井随钻探管里用的石英加速度计来说，不同工作温度所使用的石英加速度计（简称加表）也不同，对加表的稳定性、可靠性要求也不同。面对不同的厂家产品，选购时注意这两点就行了。 1、工作温度，国内大部分厂家的石英加速度计产品集中在135℃、155℃温度段，少部分能做到165℃，只有几家因工艺技术能做到185℃，基本上国内哪个井都可以用，比如智腾微电子的HQA-

随钻测井技术的发展让生产工艺和设计水平有所提升，性能越来越好，但是在井下工作中，由于抗振动和抗冲击能力不足，会导致仪器发生损坏，影响工作进度。在测斜探头中，石英加速度计的性能强弱影响抗振动、抗冲击能力，在已知市场里，能做到1500g的冲击只有智腾微电子的HQA-T系列。 HQA-T 系列高温石英挠性加速度传感器为单轴力矩反馈式加速度计，通过检测质量来检测外界的加速度信号，再经伺服电路解调、放大，最后输出电流信号正比于加

国内石英挠性加速度计市场的兴起离不开下游领域应用的爆发，尤其在航空、军工等行业。根据2017年石英挠性加速度计市场报告来看，石英挠性加速度计的需求增长将会每年保持8%上升。 国内石英挠性加速度计生产企业分为2大类，一类是以国企为主，掌握先进生产技术，以高端产品为主，通常应用在军工、航空等领域。另一类是民企，数量庞大，供应中低端产品，产品应用惯性导航、测量等领域。从整体技术角度来讲，国内技术水平与国外相比还是

随钻工具的姿态参数会受工具的旋转、近钻头振动和井下的高温高压等因素影响，严重影响工具姿态参数的测量精度，因此测井仪器必须顺利工作获得井下参数。高温石英加速度传感器HQA-T系列是青岛智腾微电子为解决随钻测斜探管在高温下仪器无法正常工作、抗冲击和抗振性差等问题而推出的产品。 K0（mg）：偏值（零点），指输入为0g加速度时的输出值，该值为计算值。 K1（mA/g）：标度因数，指输入加速度与输出电流的比例关系。 失准角—加表安

这是小编学习记录第二篇，对石英挠性加速度计测试的步骤了解，内容为转载，请大家根据实际情况调整。 1、在振动台静止状态下，将石英挠性加速度计水平放置在实验台上，接上电源，并将输出端并示波器进行连接，记录示波器上的输出信号并观察其幅值特性，此时为石英挠性加速度计未加振动时的输出信号。 2、保持加速度计的原位置，选定振动台为垂直定频模式，设定频率 30Hz，强度 20％，重新记录示波器上的输出信号。 3、在振动台垂直定频

石油井下环境相对恶劣，常伴有震动、高温等不利因素，因此对电源稳定性和可靠性要求高。线性电源因使用简单、噪声低、纹波小等特点，在井下测井中应用广泛。青岛智腾微电子有限公司提供适合在150℃~250℃工作温度下的石油测井线性电源，输出电压覆盖+1.2V~+30V和-5~-30V范围，噪声低至1mV以内，也可根据客户对空间和输出功率的要求定制，提供陶瓷、金属等不同封装。 LHVR230/LHVR250系列是专门针对工作在高温环境下设计的双路稳压电源，250℃温度

在高温钻井环境过程中，一款稳定可靠的电源能有效防止随钻测井仪器电子线路的损坏，保证测量精度，青岛智腾微电子研发的LH170094/LH170095系列，高功率密度，噪音低，可稳定在200℃条件下正常工作600小时。 电路芯片全部为进口芯片，并按照军品要求严格筛选，采用厚膜工艺生产，将金导体和电阻烧高温结在陶瓷片上，增强电路在高温、强震动条件下的可靠性。 石油测井高温电源模块LH170094/LH170095系列具有输出不随输入电压、正载电流、环境温度变

产品解决难点 1、 国外产品采购难、供应量不足等 2、 多样性需求难实现 3、 价格高 产品背景 LH42117/LH42118系列系列是青岛智腾微电子有限公司研发可在工作温度175℃~250℃环境下长时间稳定工作的高温线性电源模块，可满足+1.2V~+30V和-5~-30V范围内各种输出电压。 电路芯片全部为进口芯片，并按照军品要求严格筛选，采用厚膜工艺生产，将金导体和电阻烧高温结在陶瓷片上，增强电路在高温、强震动条件下的可靠性。 产品特点 1、 高工作温度 2、 高功

国内生产石油测井高温电源的厂家并不是很多，每个生产电源的厂家都有明显的产品特色，尤其在国产化的浪潮下，对国内石油测井高温电源产品的推广带来机会。随着国外某著名公司石油测井电源模块停产，在维修库存不足时，国内有什么好的解决办法吗？ 上图是青岛智腾微电子的高温电源LH42117/42118系列，可以无缝替换国外产品，其中基板采用氧化铝陶瓷制作，通过熔点高达296℃的焊锡与钨铜外壳进行焊接，确保绝佳的散热和可靠的连接，在250℃

厚膜混合电路工艺的石油高温电源相对于传统高温电源而言，具备更好的散热性和长期稳定性。以青岛智腾微电子的LH42117/42118系列电源为例。 1. 基板采用氧化铝陶瓷制作，通过熔点高达296℃的焊锡与钨铜外壳进行焊接，确保绝佳的散热和可靠的连接。 2. 基板上的导体材料为金，确保高温的长期稳定性。 3. 器件选用裸芯片（DIE）直接贴装与基板上，通过邦定工艺互连，具有极强的可靠性、抗振性。 4. 使用分立晶体管组件电路，在高温工作时，相对于

目前国内石油测井用高温电源大多是采购国外产品，主要原因是国外产品稳定性较好，实际上国内不少厂家的产品已经可以和某国外知名厂家产品媲美，而且因为国内，更容易做售后服务，减少维修人员人力损耗。 石油测井工作环境相对恶劣，对温度要求较高，一般都在175℃以上，而电源作为稳定工作的基础器件，对电压、稳定性都有严格的要求，这是保证石油测井工作稳定进行的基础。 在采购石油测井用高温电源只要主要以下5个方面，就可以下手

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