ASML 首席执行官表示，该公司有望于今年推出业界首款数值孔径 (NA) 为 0.55 的极紫外 (EUV) 光刻扫描仪。ASML 的 Twinscan EXE:5000 机器将主要用于开发目的，并使公司的客户熟悉新技术及其功能。High-NA 工具预计将于 2025 年及以后投入商业使用。
这euv一台3亿美金，安装需要至少半年，成本是真的高.
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